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喷金仪

简要描述:喷金仪在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-04-08
  • 访  问  量: 170

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
产地类别国产应用领域能源,电子,电气

  SSG-50M为了使电子显微镜中的样品能够成像,它们需要有导电性,通过在样品上形成导电层的镀膜,用来抑制电荷,减少热损伤,并提高在SEM中定位检查所需的二次电子信号。

  测试原理:在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。

  平时使用时,最常见靶材的是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬、铂金、铜)。

  产品概览

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  喷金仪的产品特点

  样品腔尺寸:圆柱形,直径150mmx高度120mm;

  样品腔真空度:极限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa,恒压控制;

  样品台:可以装载样品8-15个,高度可调范围为40mm;

  靶材:Au靶为标配,Pt,Cu(选件)规格:直径57mmx0.1mm厚;

  溅射电流:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流200mA,程序化数字控制;

  溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩;

  真空计:皮拉尼真空计,测量范围:0.01Pa-常压;

  真空泵:双级直连式高速真空泵,抽速:66L/min,真空度:10-2Pa;

  厚度监控:使用高分辨厚度监控仪,精确测定所镀膜的厚度;(选配)

  操作方式:触摸屏控制,手动和自动模式可选,操作简便;

  机箱设计:长宽高40*35*50cm,坚固防腐蚀的箱体,带有电源、电压、电流、真空度等显示。

 

 

 

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